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发明名称:膜厚的检测装置
申请号:CN201510639939.7
公开/公告号:CN105136011A
公开/公告日:20151209
法律状态:公开
有效性:审中
申请人:威海华菱光电股份有限公司
发明人:戚务昌;宋荣鑫
地址:264209 山东省威海市火炬高技术产业开发区火炬路159号
摘要:
[详细]本申请提供了一种膜厚的检测装置。该检测装置包括:公共电极、多个检测电极组与检测电路。其中,各检测电极组与公共电极在第一方向上相对且间隔设置,且公共电极的第一表面与每个检测电极组的第一表面相对,多个检测电极组沿第二方向间隔设置,各检测电极组包括至少一个检测电极,第一方向与第一平面垂直,第二方向与待测膜的移动方向垂直,第一平面与第二方向平行;检测电路与多个检测电极组电连接,检测电路包括移位控制单元,移位控制单元用于控制多个检测电极组的感应电信号的输出顺序。该检测装置能够更加准确地检测出待测膜的厚度。
首项权利要求:
[详细]一种膜厚的检测装置,其特征在于,所述检测装置包括:公共电极(12);多个检测电极组(2),与所述公共电极(12)在第一方向上相对且间隔设置,且所述公共电极(12)的第一表面与每个所述检测电极组(2)的第一表面相对,多个所述检测电极组(2)沿第二方向间隔设置,各所述检测电极组(2)包括至少一个检测电极(22),所述第一方向与第一平面垂直,所述第二方向与待测膜的移动方向垂直,所述第一平面与所述第二方向平行;以及检测电路(25),与多个所述检测电极组(2)电连接,所述检测电路(25)包括移位控制单元(253),所述移位控制单元(253)用于控制多个所述检测电极组(2)的感应电信号的输出顺序。
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  • 字段列表: 名称 公开号 申请号 法律状态 有效性 申请人 发明人 摘要 公开日 地址 权利要求
      申请日 法律状态变更 代理人 代理机构 ipc 转让人 受让人 转让日 许可人 被许可人
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